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流(liú)量計

brooks 質(zhì)量(liàng)流量控制(zhì)器(qì) gp200系列

湖(hú)北我(wǒ)们誠信銷售brooks控(kòng)制器，brooks電源(yuán)，brooks流量(liàng)計(jì)，brooks壓(yā)力計

品　　牌(pái)：: brooks
産(chǎn)　　地(dì)：: 美國(guó)
型　　号：: brooks 質量(liàng)流量控制器(qì) gp200系(xì)列
技(jì)術資料：: 數據資料下載中(zhōng)心

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brooks 質量流(liú)量控制(zhì)器(qì) gp200系列簡介
所有(yǒu)的表(biǎo)現。沒有任(rèn)何限(xiàn)制。
gp200 系列是第一款完全(quán)不敏感(gǎn)的基于壓(yā)力的(de)質量(liàng)流(liú)量控制(zhì)器 (p-mfc)，專為(wéi)半(bàn)導體(tǐ)制造(zào)中(zhōng)的先進(jìn)蝕刻和沉積工(gōng)藝而(ér)設計(jì)。
gp200 系列(liè) p-mfc 采用(yòng)技術架構(gòu)，克服了傳統 p-mfc 的(de)局限性，即(jí)使在輸送(sòng)低蒸氣壓(yā)工藝氣體時也(yě)能提(tí)供最精确(què)的工藝氣(qì)體輸送。它包括幾個(gè)獨特的設計方(fāng)面，包括與下(xià)遊(yóu)閥門架構(gòu)相結合的(de)集成(chéng)壓差(chà)傳感(gǎn)器，可在行(háng)業中(zhōng)最(zuì)廣泛的(de)操作條件下實(shí)現最精确的工(gōng)藝氣體輸送。
由于 gp200 系(xì)列(liè)支持如(rú)此(cǐ)廣泛的(de)工藝(yì)條件，它可以用作許多傳(chuán)統 p-mfc 和(hé)熱 mfc 的直接替代(dài)和升(shēng)級。它降低(dī)了氣體輸送系(xì)統的複(fú)雜性和(hé)擁有成本，因為(wéi)它消除了對壓(yā)力調(diào)節器和傳(chuán)感器等組件的(de)需求。

特征
真正(zhèng)的差壓測量
降低入(rù)口(kǒu)壓(yā)力運行
下遊(yóu)閥門結構
匹配的瞬态(tài)響應(yīng)
零(líng)洩(xiè)漏(lòu)控(kòng)制閥(fá)
multiflo tm技術提供了無與(yǔ)倫(lún)比的(de)靈活(huó)性——一個設備可以針對數(shù)千種不(bú)同的氣(qì)體和(hé)流量(liàng)範圍(wéi)配置(zhì)進行編程(chéng)，而無(wú)需(xū)從氣體(tǐ)管線(xiàn)中移除 mfc 或(huò)影響精度(dù)
本地(dì)顯示顯示(shì)流量、溫度、壓(yā)力和網(wǎng)絡地(dì)址
devicenet tm、ethercat®、rs-485 l-protocol 和模拟(nǐ)接(jiē)口
好處(chù)
通過(guò)消除(chú)匹配和補(bǔ)償兩個獨(dú)立壓力傳感器(qì)的要(yào)求，gp200 差壓(yā)技(jì)術降低了測量(liàng)不确(què)定性(xìng)，從而提(tí)高了準确(què)性、可重複性和漂(piāo)移性(xìng)能。
由(yóu)于專為低壓差測量而優化的 gp200 差壓傳感(gǎn)器，現在使用 p-mfc 可以在(zài)較低的入(rù)口壓力下實現(xiàn)更安全的晶圓(yuán)廠操(cāo)作(zuò)。
下(xià)遊(yóu)閥(fá)門結構确(què)保精(jīng)度獨(dú)立于下遊(yóu)壓力，使流量輸送到高達 1200 torr 的壓(yā)力。快速(sù)關(guān)閉閥(fá)門解決了(le)上遊 mfc 閥門設(shè)計中出(chū)現的非生(shēng)産性(xìng)配(pèi)方(fāng)等待(dài)時間(jiān)或“尾部(bù)效應(yīng)”，這些閥(fá)門需要額(é)外的時(shí)間來排(pái)出其(qí)内部氣體(tǐ)體積。
超快、高度(dù)可重複的上升(shēng)和下(xià)降流(liú)動穩(wěn)定時(shí)間(jiān)可在先(xiān)進的(de)高循環沉積和蝕刻工藝(yì)中實(shí)現更嚴格(gé)的工藝(yì)控制。
閥門關閉性能提高 100 倍
使用 multiflo tm，mfc 滿量(liàng)程流量範圍通(tōng)常可(kě)以按(àn) 3:1 的系(xì)數重新按(àn)比例(lì)縮小，而(ér)不會影(yǐng)響精度、量(liàng)程比或規(guī)格(gé)洩漏，以(yǐ)實現最佳(jiā)工藝(yì)和庫存靈活性(xìng)
方便的(de)用(yòng)戶顯(xiǎn)示和獨(dú)立的診斷/服務端口有助于設備安(ān)裝(zhuāng)、監控和故(gù)障排除
主要應用
半(bàn)導體(tǐ)制(zhì)造
蝕刻(kè)
化學(xué)氣相沉積(jī) (cvd)
需要高純度全(quán)金屬(shǔ)流(liú)路(lù)的氣流控制(zhì)應(yīng)用

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